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1、12寸芯片, 3nm-28nm；
2、VOC, SO2, H2S, Cl-, Ammonia, MDS, O3, 等气体过滤；
3、建厂时洁净室的初期气体清理；
4、外气MOU气体分子过滤；
5、FFU 化学滤网过滤；
6、机台上的设备气体过滤；
7、面板厂曝光机的过滤机, 保护镜头。